納米結構三氧化鎢可以采用濺射法、水熱法、溶膠凝膠法、熱蒸發法、化學氣相沉積法、陽極氧化法以及模板法等方法制備得到。
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其中，水熱法設備簡單，原材料豐富，反應溫度低，產物結晶度高，可合成一些特殊結構的材料，適合大規模生產，受到了廣泛的研究。有專家最先采用水熱法在鎢片上制備納米樹狀WO3薄膜，也有專家首次采用溶劑熱法在預先制備W03籽晶層的FTO基底上制得WO3納米片陣列薄膜，還有專家分別研究了反應條件和添加劑對溶劑熱法制備的三氧化鎢薄膜形貌的影響。此外，有專家采用水熱法直接在基底制備六方相WO3納米棒陣列薄膜，研究發現溶液的pH值對薄膜的形貌及排布方式有重要影響。也有專家通過水熱法在沒有籽晶層的FTO基底生長垂直納米片陣列薄膜，并研究了不同添加劑、反應時間和反應溫度對形貌以及光電性能的影響。
