高光電性能氧化鎢薄膜可以采用水熱法制備得到。其中，專家采用鹽酸和雜多酸共同酸化。他們發現，在酸化過程中摻入少量的雜多酸就能較大幅度地提高制得的WO3薄膜的光電性能。下面主要介紹該種方法制備高光電性能WO3薄膜的具體步驟：
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水熱法制備高光電性能氧化鎢薄膜
第一步：稱取0.7mmol Na2WO4?2H2O溶于30mL去離子水中，室溫攪拌下逐滴加入6mL 3MHCl溶液，再加入磷鎢酸，加入磷鎢酸的摩爾量是鎢酸鈉的5%，攪拌至白色沉淀不再增加；
第二步：加入1.6mmol (NH4)2C2O4作為結構導向劑，補加去離子水至溶液總體積為70mL，繼續攪拌2h。將預先清洗好的FTO導電玻璃傾斜放入反應釜內襯中。將上述溶液移入反應釜中，密封后放入鼓風干燥箱中，于150℃下水熱反應24h，自然冷卻至室溫。
第三步：取出導電玻璃，用去離子水清洗，于烘箱60℃下干燥，在500℃煅燒1h，制得WO3薄膜。
