結晶態三氧化鎢膜可以通過磁控濺射沉積再通過熱處理獲得。通過磁控濺射沉積獲得的是非晶態三氧化鎢膜，在空氣中分別加熱200℃，250℃，300℃，350℃及400℃，并保溫30min進行熱處理。隨著熱處理溫度的提高，非晶態三氧化鎢膜的電致變色性能下降。當熱處理溫度高于350℃時，非晶態轉變成結晶態。
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著色的結晶態三氧化鎢膜在可見光譜范圍（380nm-780nm）及太陽光譜范圍內吸收調制能力低于非晶態三氧化鎢膜，但是結晶態三氧化鎢膜在近紅外區有較強的反射調制。基片加溫到220℃以上沉積得到的三氧化鎢膜均為結晶態。這種結晶態膜的電致變色性能優于空氣中熱處理得到的結晶態三氧化鎢膜，但兩種膜的變色性能與各自的制備溫度沒有明顯的依賴關系。在相同的電化學測試參數條件下，結晶的三氧化鎢膜的變色響應速率低于非晶態膜。
