三氧化鎢,作為重要的功能材料,在變色器件、微型傳感器、聲表面波器件和微流體器件等研究領(lǐng)域備受關(guān)注。
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專家表示,在結(jié)晶生長(zhǎng)優(yōu)化條件下,采用納米技術(shù)和先進(jìn)的鍍膜技術(shù)制備出性能優(yōu)異的功能薄膜,這對(duì)提高器件性能及其應(yīng)用意義重大。例如,有專家采用水熱法在包覆劑調(diào)控生長(zhǎng)中得到結(jié)構(gòu)新穎的氧化鎢納米晶。也有專家利用磁控濺射技術(shù)沉積出高質(zhì)量的氧化鎢薄膜,結(jié)合微加工工藝實(shí)現(xiàn)了氧化鎢多層膜聲表面波器件的性能優(yōu)化,并將該類聲波器件用于傳感器和微流體液滴控制研究。