晶態(tài)氧化鎢薄膜可以在不同氧氣分壓下通過反應磁控濺射法制備得到。專家們通過測試分析不同氧氣分壓下薄膜的表面形貌和薄膜密度，研究了表面形貌和孔隙率對電致變色性能的影響。
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專家們發(fā)現(xiàn)，氧氣分壓為2.0×10?3mbar時，薄膜顯示出較小的堆積密度，有更好的離子儲存能力和著色效率，這是因為細小的顆粒和密集的孔洞有利于離子和電子的注入和脫出。有專家還通過調(diào)節(jié)磁控濺射功率0.7kW到1.5kW，發(fā)現(xiàn)隨著功率的提高，氧化鎢薄膜著色效率降低，同時，著色和褪色時間變長，研究結(jié)果表明，這是由于功率的改變導致薄膜密度增大引起的。
