納米銫氧化鎢可以用于制備納米陶瓷粒，從而用于生產納米陶瓷。納米陶瓷是近20年發展起來的新型超結構陶瓷材料，其將納米陶瓷粒、晶須、纖維等引入陶瓷母體，以改善陶瓷的性能，如提高母體材料的室溫力學性能，改善高溫性能等。
納米陶瓷的制備工藝主要包括納米粉體的制備、成型和燒結。納米陶瓷粉體的制備方法有很多，但應用較廣且方法較成熟的主要有氣相合成和凝聚相合成2種。氣相合成主要有氣相高溫裂解法、噴霧轉化法和化學氣相合成法。化學氣相合成法既可制備納米非氧化物粉體，也可制備納米氧化物粉體，可增強低溫下的可燒結性，并有相對高的純凈性和高的表面及晶粒邊界純度。原料的坩堝中經加熱直接蒸發成氣態，以產生懸浮微粒和/或煙霧狀原子團。原子團的平均粒徑可通過改變蒸發速率以及蒸發室內的惰性氣體的壓強來控制，粒徑可小至3～4nm，是制備納米陶瓷最有希望的途徑之一。
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