華燦光電追加訂購Veeco的MOCVD設備生產LED
日前，VECO宣布中國領先的LED制造商之一，華燦光電股份有限公司追加訂購了TurboDisc®MaxBright®GaN MOCVD設備來大批量生產用于顯示器和普通照明的發光二級管(LEDs)。該訂單下于2012年的第三季度，訂購的是Veeco的最新高產能版設備(MHP)。
華燦光電的總裁劉榕博士表示：“Veeco的設備能提供穩定的工藝，已經幫助我們成功地生產出了高品質、高亮度的LEDs。新增的MaxBright MHP機臺，由于可以從現有的Veeco機臺無縫工藝轉移，我們生產線的產能可以獲得迅速增加。”
Veeco高級副總裁Jeff Hawthorne表示：“我們很榮幸華燦光電再次選擇Veeco技術來滿足生產需求，MaxBright MHP設備能在降低生產成本的同時，有助于推動客戶的生產力和良率。”
關于TurboDisc MaxBright MPH氮化鎵MOCVD多反應腔設備
MaxBright MHP設備是業內生產效率最高的MOCVD設備，該設計旨在生產高品質、高亮度LED。與MaxBright相比，晶圓內波長均勻性提高了20%，增加了維修便利性，而且廠房利用率提高了15%。通過改善熱性能和流動性，良率得以提高。該設備采用了Veeco已經生產驗證的UniformFlowFlange?技術和自動化經驗，將多個高產能的MOCVD反應腔組合成模塊化的2-或4-的集群構架。
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